講演情報
[73]金属援用エッチングで作製した多孔質シリコンの透過電子顕微鏡観察 触媒下部における構造形成―
○福室 直樹1、谷口 颯司1,2、松本 歩1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学、2. 東洋精機株式会社)
キーワード：
多孔質シリコン、金属援用エッチング、金ナノ粒子、透過電子顕微鏡
貴金属触媒を修飾したシリコン(Si)を過酸化水素(H2O2)などの酸化剤を含むフッ化水素酸(HF)水溶液に浸漬すると，Si表面に多孔質層が形成される．この現象を金属援用エッチングと呼び，低コストで多様性のある半導体微細加工技術として注目されている．一方で，エッチング挙動は処理条件によって大きく変化するため，メカニズムの全容は明らかになっていない．本研究では，金属援用エッチングにより作製した多孔質Siの断面構造を透過電子顕微鏡(TEM)によって観察した．
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