[P] P9~P23 Electric/Magnetic Materials

[P9] Crystallization of Amorphous Oxide Thin Films by Irradiation with Low-Energy Electron Beams

○Miu Kinoshita¹, Ryusuke Nakamura¹ (1. Univ. of Shiga Pref.)

Keywords:

Amorphous oxides,Electron beam irradiation,Crystallization

SEM級エネルギーの電子線照射によるモルファス酸化物薄膜の結晶化挙動を調査した．結晶化の電子フラックス閾値を評価し，電子線エネルギー依存性について検討した．併せて，出現相の解析を行った．