[P] P9~P23 電気・電子・光関連材料

[P9] 低エネルギーの電子ビーム照射によるアモルファス酸化物薄膜の結晶化

○木下 心詩¹、仲村 龍介¹ (1. 滋賀県大)

キーワード：

アモルファス酸化物、電子ビーム照射、結晶化

SEM級エネルギーの電子線照射によるモルファス酸化物薄膜の結晶化挙動を調査した．結晶化の電子フラックス閾値を評価し，電子線エネルギー依存性について検討した．併せて，出現相の解析を行った．