[P] P9~P23 Electric/Magnetic Materials

[P11] Microstructure Investigation of ZnO-NR/Si Nano Interface Fabricated by Galvanic Submerged Photo-Synthesis

○Kensuke Kinugasa¹, Seiichi Watanabe¹, Lihua Zhang¹, Kazumasa Okamoto² (1. Hokkaido University, 2. SANKEN)

Keywords:

Photo-functional materials,Semiconductor junction interface,Transmission Electron Microscopy (TEM)

水中結晶光合成法(SPSC法)を用いてSi基板上にZnOナノロッドを形成し、接合界面をTEMで解析した。光照射試料ではZnの約5 nmの拡散とZn/Si相互拡散を確認した。光励起に伴う酸素欠損生成が低温拡散を促進し、界面制御に寄与する可能性を示した。