[P] P9~P23 電気・電子・光関連材料

[P11] ガルバニック水中光合成 ZnO-NR/Si ナノ接合界面の微細構造解析

○衣笠 謙佑¹、渡辺 精一¹、張 麗華¹、岡本 一将² (1. 北海道大学、2. 大阪大学産業科学研究所)

キーワード：

光機能材料、半導体接合界面、TEM

水中結晶光合成法(SPSC法)を用いてSi基板上にZnOナノロッドを形成し、接合界面をTEMで解析した。光照射試料ではZnの約5 nmの拡散とZn/Si相互拡散を確認した。光励起に伴う酸素欠損生成が低温拡散を促進し、界面制御に寄与する可能性を示した。