[P] P74~P87 Materials Chemistry

[P78] チタン表面への窒化アルミニウム皮膜形成に及ぼすアルミニウム被覆条件の影響

○musashi harada¹, Masashi Yoshida¹, Noah Utsumi¹ (1. Daido Univ.)

Keywords:

Aluminum nitride film,gas nitriding,titanium

アルミニウム被覆チタンのガス窒化により、窒化アルミニウム皮膜の形成を検討している。チタンにアルミニウムを被覆する際には、粒状ＴｉＡｌ_３が生成されるが、この粒状物が窒化アルミニウム皮膜の形成に及ぼす影響は未解明である。そこで、窒化アルミニウム皮膜の形成に及ぼすアルミニウム被覆条件の影響について検討した。