[P] P74~P87　材料化学

[P78] チタン表面への窒化アルミニウム皮膜形成に及ぼすアルミニウム被覆条件の影響

○原田 ムサシ¹、吉田 昌史¹、内海 能亜¹ (1. 大同大学)

キーワード：

窒化アルミニウム皮膜、ガス窒化、チタン

アルミニウム被覆チタンのガス窒化により、窒化アルミニウム皮膜の形成を検討している。チタンにアルミニウムを被覆する際には、粒状ＴｉＡｌ_３が生成されるが、この粒状物が窒化アルミニウム皮膜の形成に及ぼす影響は未解明である。そこで、窒化アルミニウム皮膜の形成に及ぼすアルミニウム被覆条件の影響について検討した。