Presentation Information
[P83]Effect of substrate heating on microstructure and biocompatibility of Ti–Ca films
○Maho Yamaguchi1, Junko Hieda1 (1. Nagoya Univ.)
Keywords:
Ti alloy,Sputtering process
新規医療用Ti材料の開発を目的として，高周波マグネトロンスパッタ法を用い，異なる基板温度でTi-Ca膜を作製した．基板加熱によって膜の構造が変化した．Ti-10mass%Caについては，今回の基板加熱温度ではCaイオンの溶出量への大きな影響は見られなかった．
Comment
To browse or post comments, you must log in.Log in