講演情報
[P83]医療用Ti–Ca膜の構造および生体適合性への基板加熱の影響
○山口 万穂1、稗田 純子1 (1. 名大)
キーワード:
Ti合金、スパッタ法
新規医療用Ti材料の開発を目的として,高周波マグネトロンスパッタ法を用い,異なる基板温度でTi-Ca膜を作製した.基板加熱によって膜の構造が変化した.Ti-10mass%Caについては,今回の基板加熱温度ではCaイオンの溶出量への大きな影響は見られなかった.
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Ti合金、スパッタ法
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