[P] 第3分野　組織・計算科学　P79~P89

[P37] Nanoscale analysis of highly oriented Ag thin films formed on α-Al₂O₃ substrates

○Yoshito Taguchi¹, Makoto Arita¹, Yoshifumi Ikoma¹, Jungheum Yun² (1. Kyushu Univ., 2. KIMS)

Keywords:

Ag,FFT

本研究では、Ar＋N₂ガスを用いたスパッタリングおよびアニール処理により、α-Al₂O₃基板上に作製した8 nm厚Ag薄膜の結晶構造をHRTEMとFFT解析により評価した。その結果、Ag(111)面が基板面に平行に優先成長し、高配向性を示すことが確認された。一方で双晶は観察されず、基板と平行なAg(111)面内に転位が導入されることが明らかとなった。これより、N₂添加とアニールの併用がAg超薄膜の配向制御に有効であることが示された。