[P] 第3分野　組織・計算科学　P79~P89

[P37] α-Al₂O₃基板上に形成した高配向性Ag薄膜のナノスケール解析

○田口 義人¹、有田 誠¹、生駒 嘉史¹、Yun Jungheum² (1. 九州大学、2. 韓国材料科学研究所)

キーワード：

銀、高速フーリエ変換

本研究では、Ar＋N₂ガスを用いたスパッタリングおよびアニール処理により、α-Al₂O₃基板上に作製した8 nm厚Ag薄膜の結晶構造をHRTEMとFFT解析により評価した。その結果、Ag(111)面が基板面に平行に優先成長し、高配向性を示すことが確認された。一方で双晶は観察されず、基板と平行なAg(111)面内に転位が導入されることが明らかとなった。これより、N₂添加とアニールの併用がAg超薄膜の配向制御に有効であることが示された。