[G] Hydrogen and Battery Related Materials(1)

3:40 PM - 3:55 PM JST(6:40 AM - 6:55 AM UTC)

[81] Pd-film based GHz resonator for hydrogen detection

○Takashi Harumoto¹, Takashi Tomura¹ (1. Institute of Science Tokyo)

Keywords:

Hydrogen sensor,Palladium,GHz,Resonator,Defects

本研究では、パラジウム(Pd)薄膜を基にしたGHz帯マイクロストリップライン(MSL)共振器構造の水素検出への応用可能性を調査した。その結果、MSL共振器構造は、Pd薄膜の欠陥や膜亀裂に鈍感であり、周辺雰囲気の水素濃度を安定的に測定でき得ると判明した。