[G] 水素・電池関連材料(1)

15:40 〜 15:55

[81] Pd薄膜GHz帯共振器構造による水素検出

○春本 高志¹、戸村 崇¹ (1. 東京科学大)

キーワード：

水素センサ、パラジウム、GHz、共振器、欠陥

本研究では、パラジウム(Pd)薄膜を基にしたGHz帯マイクロストリップライン(MSL)共振器構造の水素検出への応用可能性を調査した。その結果、MSL共振器構造は、Pd薄膜の欠陥や膜亀裂に鈍感であり、周辺雰囲気の水素濃度を安定的に測定でき得ると判明した。