[G] Biomaterials Development and Clinics(2)

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)

[51] Fabrication of carbon-doped TiO₂ films by reactive sputtering using CO-CO₂ gas

○Sunyong Shim¹, Kyosuke Ueda², kouetsu Ogasawara³, Takayuki Narushima² (1. Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. (D), 2. Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 3. Institute of Development, Aging and Cancer, Tohoku Univ.)

Keywords:

Reactive sputtering,Anatase,Rutile,Substitutional carbon,Photocatalytic activity

COおよびCO₂を用いた反応性スパッタリングで作製したTiO₂膜は、ガス濃度に応じてアナターゼ単相、アナターゼ-ルチル混相、TiC相を示した。XPSから酸素置換型炭素の固溶を確認した。可視光下の抗菌試験では、アナターゼ–ルチル混相試料で暗所保持に比べ生菌数が減少した。