[G] 生体材料設計開発・臨床(2)

9:15 〜 9:30

[51] CO-CO₂ガスを用いた反応性スパッタリング法による炭素添加TiO₂膜の作製

○沈 善用¹、上田 恭介²、小笠原 康悦³、成島 尚之² (1. 東北大工（院生）、2. 東北大工、3. 東北大加齢研)

キーワード：

反応性スパッタリング法、アナターゼ相、ルチル相、置換型炭素、光触媒活性

COおよびCO₂を用いた反応性スパッタリングで作製したTiO₂膜は、ガス濃度に応じてアナターゼ単相、アナターゼ-ルチル混相、TiC相を示した。XPSから酸素置換型炭素の固溶を確認した。可視光下の抗菌試験では、アナターゼ–ルチル混相試料で暗所保持に比べ生菌数が減少した。