[G] Electric/Electronic/Optical Materials

1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)

[58] Exploration of high-entropy materials with low thermal conductivity using combinatorial sputter coating system

○Masahiro Goto¹, Michiko Sasaki¹, Yibin Xu¹ (1. NIMS)

Keywords:

High Entropy Material,Conbinatorial,Sputtering,Thin Film,Thermal conductivity

ハイエントロピー合金は、通常5種類以上の元素を高濃度で含有する固溶体金属であり、その特殊性から従来にはない様々な諸物性を発現するユニークな材料である。しかしながら、その組成・構造組み合わせは無限にあり、効率的な新規ハイエントロピー合金探索法が望まれていた。そこで、コンビナトリアルスパッタ法を基盤とする新規材料探索法を開発し、当該材料の探索空間を拡大すると共に、それを活用して低熱伝導率ハイエントロピー合金を創製した。