[G] Analysis/Characterization/Evaluation

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[163] Evaluation of the Observable Thickness of 4H-SiC by High Voltage Electron Microscopy

○Kazuhisa Sato¹, Kotaro Hosono², Shunya Takagi³, Kazuhiro Yasuda¹ (1. Kyushu Univ., 2. The Univ. of Osaka, 3. UHVEM, The Univ. of Osaka)

Keywords:

high-voltage electron microscopy,observable thickness,energy filter,Most probable loss imaging

エネルギーフィルターを搭載した超高圧電子顕微鏡による観察可能厚さの定量評価を目的として、楔形に微細加工した4H-SiC単結晶試料を用いてプラズモンロス像の観察を行った。得られた結果を明視野TEM、STEM観察結果と比較検討した。