[G] 分析・解析・評価

9:45 〜 10:00

[163] 超高圧電子顕微鏡による4H-SiCにおける観察可能試料厚さの評価

○佐藤 和久¹、細野 航太郎²、高木 空³、安田 和弘¹ (1. 九大工、2. 阪大工、3. 阪大電顕セ)

キーワード：

超高圧電子顕微鏡、観察可能試料厚さ、エネルギーフィルター、Most probable lossイメージング

エネルギーフィルターを搭載した超高圧電子顕微鏡による観察可能厚さの定量評価を目的として、楔形に微細加工した4H-SiC単結晶試料を用いてプラズモンロス像の観察を行った。得られた結果を明視野TEM、STEM観察結果と比較検討した。