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[D2002]フェムト秒レーザーアブレーション-ICP-MSによる深さ方向分析の検討

*槇納 好岐1、渡邉 一輝2、内田 正幸2 (1. 国立研究開発法人 産業技術総合研究所、2. 株式会社エス・ティ・ジャパン)

Keywords:

微量元素,ICP-MS,レーザーアブレーション,深さ方向分析,表面分析