原子スペクトル-4

9:15 〜 9:30

[D2002] フェムト秒レーザーアブレーション-ICP-MSによる深さ方向分析の検討

*槇納 好岐¹、渡邉 一輝²、内田 正幸² (1. 国立研究開発法人　産業技術総合研究所、2. 株式会社エス・ティ・ジャパン)

キーワード：

微量元素、ICP-MS、レーザーアブレーション、深さ方向分析、表面分析