日本分析化学会第72年会
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2:15 PM - 2:30 PM JST
(5:15 AM - 5:30 AM UTC)
[3A2-104]
半導体ウェーハの極微量元素分析のためのLA-ICP-MSの開発
○大畑 昌輝
1
、鈴木 幸志
2
、一之瀬 達也
2
、川端 克彦
2
(1. 国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準総合センター、2. 株式会社イアス)
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Keywords:
レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析法
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