原子スペクトル分析　5

14:15 〜 14:30

[3A2-104] 半導体ウェーハの極微量元素分析のためのLA-ICP-MSの開発

○大畑 昌輝¹、鈴木 幸志²、一之瀬 達也²、川端 克彦² (1. 国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準総合センター、2. 株式会社イアス)

キーワード：

レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析法