第85回分析化学討論会
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Sat. May 31, 2025
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[Y1171]
レーザーソフトイオン化におけるSiピラー構造のサイズ依存性
○藤井 優祐
1
、大須賀 潤一
2
、古谷 浩志
3
、豊田 岐聡
4
、松尾 保孝
5
(1. 北大院総化、2. JEOL協働研、3. 阪大リノ工作、4. 阪大院理、5. 北大電子研)
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Keywords:
Siピラー,SALDI,DIOS,EBリソグラフィ,ドライエッチング
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