若手ポスター-2

[Y1171] レーザーソフトイオン化におけるSiピラー構造のサイズ依存性

○藤井 優祐¹、大須賀 潤一²、古谷 浩志³、豊田 岐聡⁴、松尾 保孝⁵ (1. 北大院総化、2. JEOL協働研、3. 阪大リノ工作、4. 阪大院理、5. 北大電子研)

キーワード：

Siピラー、SALDI、DIOS、EBリソグラフィ、ドライエッチング