[20p-A201-1~16] 3.14 Silicon photonics and integrated photonics (formerly 3.15)

3:30 PM - 3:45 PM JST(6:30 AM - 6:45 AM UTC)

[20p-A201-8] Fabrication of silicon nitride waveguides for green-light

〇Yoki Nishi¹, Yoshitaka Oiso¹, Mutsuko Hatano^1,2,3, Tomohiro Amemiya¹, Nobuhiko Nishiyama^1,4 (1.Tokyo Tech., 2.PRESTO, 3.QST, 4.IIR)

Keywords:

daimond nv,SiN waveguide

ダイヤモンドNV(Nitrogen Vacancy)センタは、ダイヤモンド結晶構造に窒素空孔を有す構造である。このNV中心に緑色光で励起すると環境磁場に応じて赤色発光特性が変化することを応用して脳磁計測等への応用が期待されている。我々は、より高感度化のための大規模均一励起に向け、光集積型ダイヤモンド励起系を提案している。今回、光集積回路内の緑色光伝搬に向けた低損失SiN導波路の作製手法について検討したので報告する。