Presentation Information
[21a-P03-1]Metal hydrides film growth using ionic liquid-assisted vapor deposition
〇(M1)Kazuma Owaki1, Takumi Tozawa1, Takayuki Harada2, Hiroyuki Oguchi1 (1.Shibaura Inst., 2.NIMS)
Keywords:
ionic liquid,hydride,infraed vapor deposition
イオン液体(IL)アシスト法は、真空中でILを安定な液相場として利用する薄膜合成方法である。有機物や分子状の錯イオンを構造中に持つ水素化ホウ素リチウム(LiBH4)薄膜の合成において成果を上げてきたILアシスト法であるが、これまで、分子構造を持たない一般的な水素化物での報告例は皆無である。そこで本研究では、水素化リチウム(LiH)の薄膜合成を行い、多くの水素化物に対してILアシスト法が適用可能であることを実証する。