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[22p-P06-2]Piezoresistance Effects of Germanium

〇Kazunori Matsuda1, Masashi Yaamamoto2, Michio Mikawa2, Hiroshi Okano2, Ken'ichirou Takakura3, Nobuya Mori1, Takachi Kunimoto4 (1.Osaka Univ., 2.Kagawa NCT, 3.Kumamoto NCT, 4.Tokushima Bunri Univ.)

Keywords:

germanium,deformation,vacancy

p型Geの<100\>方向の異常なピエゾ抵抗係数を調べていく過程で,ノンドープGeの抵抗値,ホール係数,ピエゾ抵抗係数の温度特性が水素処理によって劇的に変わることを見出した.これらの現象を欠陥準位との関係について報告する.