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[23a-B202-6]Measurement of trace moisture under reduced pressure using a miniaturized CRDS-based trace-moisture analyzer

〇Hisashi Abe1 (1.AIST)

Keywords:

absorption spectroscopy

CRDS小型化に伴う課題の一つに分解能の低下があり、これによって線幅の細い吸収線では測定が困難となる。特に減圧下で測定を行う場合、圧力幅の減少により吸収線の線幅が狭くなるので、この問題は深刻となる。 この問題に対応するため、キャビティ長を熱膨張・収縮によって周期的に変化させ、共振周波数を周波数軸上で変化させることで分解能を向上させた。開発した小型CRDS微量水分計を用いて減圧下でガス中微量水分の計測を行った。