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[16a-A35-9]Fabrication of nanostrips using NdFeAsO-based superconducting thin films and evaluation of the superconducting properties

〇Atsuro Yoshikawa1, Shunya Tomioka1, Ibuki Washitani1, Koki Miyamoto1, Daichi Aoki1, Takafumi Hatano1, Hiroshi Ikuta1,2 (1.Nagoya Univ., 2.Research Center for Crystalline Materials Engineering)

Keywords:

iron-based superconductor,microfabrication

超伝導単一光子検出器は、その優れた性能から量子情報通信など幅広い分野への適用が期待されている。既存の検出器は極低温でしか動作しないため、高温超伝導体でデバイスを作製して高温動作を実現することは重要である。40 K以上のTcを有するNdFeAs(O,H)薄膜は、超伝導特性を維持したまま線幅1 µm程度まで細線加工できる。今回は、更なる微細化に向けてプロセス調整を行ったので、その結果を報告する。

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