[16a-A35-1~11] 11.1 基礎物性

11:15 〜 11:30

[16a-A35-9] NdFeAsO系超伝導薄膜のナノストリップ加工と超伝導特性評価

〇吉川 淳朗¹、冨岡 隼也¹、鷲谷 伊吹¹、宮本 洸希¹、青木 大知¹、畑野 敬史¹、生田 博志^1,2 (1.名大工、2.名大クリスタルエンジニアリング研究センター)

キーワード：

鉄系超伝導体、微細加工

超伝導単一光子検出器は、その優れた性能から量子情報通信など幅広い分野への適用が期待されている。既存の検出器は極低温でしか動作しないため、高温超伝導体でデバイスを作製して高温動作を実現することは重要である。40 K以上のT_cを有するNdFeAs(O,H)薄膜は、超伝導特性を維持したまま線幅1 µm程度まで細線加工できる。今回は、更なる微細化に向けてプロセス調整を行ったので、その結果を報告する。