[16a-C43-1~11] 7.1 X-ray technologies

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[16a-C43-3] Extreme ultraviolet light source using a regenerative liquid metal target

〇Tatsuya Soramoto¹, Tsukasa Sugiura¹, Ayaka Ogiwara¹, Hiroki Morita¹, Shinichi Namba², Takeshi Higashiguchi¹ (1.Utsunomiya Univ., 2.Hiroshima Univ.)

Keywords:

EUV,Water-window soft x-ray,Laser-produced plasma

次々世代EUV光源候補として水の窓軟X線源は候補のひとつである．これまでの水の窓軟X線源は顕微鏡向けで，Bi，Au，Moなどの金属元素でのレーザー生成プラズマ源であった．これはシングルショットベースで動作させており，高繰り返しでの連続運転はしてこなかった．Biは低融点で液体化させやすい．そこで，本発表では，連続供給可能な液体Biターゲットを開発し，水の窓軟X線を2時間連続発生させた結果を報告する．