[16a-C43-1~11] 7.1 X線技術

9:30 〜 9:45

[16a-C43-3] 連続供給液体金属ターゲットによる極端紫外光源

〇空本 龍弥¹、杉浦 使¹、荻原 彩華¹、森田 大樹¹、難波 愼一²、東口 武史¹ (1.宇都宮大、2.広島大)

キーワード：

EUV、水の窓軟X線、レーザー生成プラズマ

次々世代EUV光源候補として水の窓軟X線源は候補のひとつである．これまでの水の窓軟X線源は顕微鏡向けで，Bi，Au，Moなどの金属元素でのレーザー生成プラズマ源であった．これはシングルショットベースで動作させており，高繰り返しでの連続運転はしてこなかった．Biは低融点で液体化させやすい．そこで，本発表では，連続供給可能な液体Biターゲットを開発し，水の窓軟X線を2時間連続発生させた結果を報告する．