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[16p-A21-6]Fabrication of AlGaN-based UV-B laser diodes with refractive-index waveguide structure

〇Rintaro Miyake1, Yoshinori Imoto1, Ryoya Yamada1, Takumu Saito1, Shundai Maruyama1, Shogo Karino1, Yusuke Sasaki1, Sho Iwayama1, Motoaki Iwaya1, Tetsuya Takeuchi1, Satoshi Kamiyama1, Hideto Miyake2 (1.Meijo Univ., 2.Mie Univ.)

Keywords:

laser

本グループでは格子緩和した高品質 AlGaN テンプレート上に UV-B 半導体レーザ(LD)を作製し室温パルス発振を実現している。本報告では屈折率導波路構造および利得導波路型の UV-B LD を作製し、特性の評価を行い横方向に光が閉じ込められているのか検証した。結果として屈折率導波路構造では光が横方向に閉じ込められていることが確認され、良好な屈折率導波構造が形成されていることが示唆された。

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