[16p-A25-1~16] 3.14 Silicon photonics and integrated photonics

1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16p-A25-2] 1.1-cm-long-micro-transfer printed thin-film lithium niobate modulator on Si

〇Toshiya Murai¹, Rai Kou¹, Guangwei Cong¹, Masahiko Imai², Kazumasa Takabayashi², Nobuaki Mitamura², Suguru Akiyama², Koji Yamada¹ (1.AIST, 2.Fujitsu Optical Components Ltd.)

Keywords:

lithium niobate,micro transfer printing,silicon photonics

Siフォトニクスプラットフォームおいて高速光変調器を実現するため,薄膜ニオブ酸リチウム(TFLN)のSi上への集積が進んでいる.本発表では,異種材料を任意基板上へ選択的に転写する接合手法であるµ-トランスファープリンティング(µ-TP)集積として,LNの報告で最長である1.1 cm長のTFLN変調器をSi基板上に集積に成功した結果を報告する.加えてDC変調特性を測定しµ-TP集積においても実用化レベルの光変調特性が得られることを明らかにする.