[16p-P05-1~27] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[16p-P05-3] Relationships between pH sensitivity, crystal structures, and its electronic states of vanadium oxide thin films by a chemical solution deposition method for biosensor applications

〇(M1C)Aoi Yamamoto¹, Yoshiki Tate¹, Yuichi Hirofuji¹, Kazuto Koike¹, Takeshi Rachi², Yasuhiro Naganuma², Ryotaro Kumashiro³, Nobuya Hiroshiba¹ (1.NMRC, OIT, 2.KISTEC, 3.AIMR,Tohoku Univ.)

Keywords:

pH sensor,VOx

我々は，バイオセンサー応用を目指しpHセンサーの電極材料に酸化バナジウム(VO_X)を用いると，ネルンスト限界値を超える高いpHセンサー感度が得られることを報告してきた．一方で，作製条件によるVO_X薄膜構造や電子状態がpHセンサー感度へ及ぼす影響については未解明な部分が多く残されている．本発表では作製条件が異なるVO_X薄膜の構造評価と電子状態の評価を行ったので，pHセンサー感度との関係性も含めて議論を行う．