[16p-P05-1~27] 12.1 作製・構造制御

[16p-P05-3] バイオセンサー応用を目指した溶液塗布熱分解法による酸化バナジウム薄膜構造・電子状態とpHセンサー感度の関係

〇(M1C)山本 青依¹、楯 凱貴¹、広藤 裕一¹、小池 一歩¹、良知 健²、長沼 康弘²、熊代 良太郎³、廣芝 伸哉¹ (1.大阪工大ナノ材研、2.神奈川産技術研、3.東北大AIMR)

キーワード：

pHセンサー、酸化バナジウム

我々は，バイオセンサー応用を目指しpHセンサーの電極材料に酸化バナジウム(VO_X)を用いると，ネルンスト限界値を超える高いpHセンサー感度が得られることを報告してきた．一方で，作製条件によるVO_X薄膜構造や電子状態がpHセンサー感度へ及ぼす影響については未解明な部分が多く残されている．本発表では作製条件が異なるVO_X薄膜の構造評価と電子状態の評価を行ったので，pHセンサー感度との関係性も含めて議論を行う．