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[17a-A22-6]NbN/AlN/NbN Josephson Junctions with Sidewall Spacer Structure for Superconducting Qubits

〇Koki Honda1, Daiki Kurihara1, Duong Pham1, Hiroki Kutsuma1,2, Hirotaka Terai3, Taro Yamashita1 (1.Tohoku Univ., 2.JST PRESTO, 3.NICT)

Keywords:

superconducting qubit,sidewall spacer structure,NbN/AlN/NbN josephson junction

エピタキシャル成長させたNbNジョセフソン接合を用いた量子ビットは,結晶化した絶縁層AlNにより欠陥二準位系に起因するデコヒーレンスの抑制が期待されているが,複雑な素子作製プロセスにより本来のコヒーレンス特性が抑制されている可能性が指摘されている.本研究では,sidewall spacer構造に着目し同構造を有するNbN/AlN/NbN接合の作製を試み,2.2Kにおける電流電圧特性を評価した.

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