[17a-C43-1~8] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)

[17a-C43-5] Nanoscale precision pattern drawing using thermal scanning probe lithography

〇Kanna Aoki¹, Kouichi Akahane¹ (1.NICT)

Keywords:

t-SPL,nano fabrication

加熱すると昇華する性質のポリマーで基板上に薄膜を作製し、その表面を温度制御可能なプローブで走査すると任意のパターンをナノスケールの精度で描画することができる。同技術を用いて20 nm程度の位置合わせ精度、half pitch 50 nmのline and spaceパターンが得られた。電子線描画法や液浸リソグラフィ法と同レベルの位置合わせ精度・微細度を室温で得られることがこの手法の長所である。