[17p-A23-1~11] Recent research progress in properties and applications of carbon nanotubes

5:20 PM - 5:50 PM JST(8:20 AM - 8:50 AM UTC)

[17p-A23-9] Infrared Image Sensor using Carbon Nanotubes

〇Ryota Yuge^1,2, Tomo Tanaka^1,2, Masahiko Sano¹, Noriyuki Tonouchi^1,2, Akinobu Shibuya^1,2, Taizo Shibuya^1,2, Mayumi Kosaka^1,2, Masataka Noguchi^1,2, Takashi Miyazaki^1,2, Toshie Miyamoto^2,1, Naoki Oda¹ (1.NEC, 2.AIST)

Keywords:

Carbon nanotube,Bolometer,Infrared image sensor

単層カーボンナノチューブ（CNT）は、金属型と半導体型が混在して生成するため、半導体型特性を利用するには分離する必要がある。我々は、独自技術により半導体型CNTを高純度に分離することに成功し、それを利用したセンシングデバイスの研究開発を行っている。本講演では、半導体型CNTを赤外線検知部に使用し、MEMS素子技術により640×480素子にアレイ化した高感度な赤外線イメージセンサについて紹介する。