[17p-A23-1~11] カーボンナノチューブの物性・応用研究の最新動向

17:20 〜 17:50

[17p-A23-9] カーボンナノチューブを利用した赤外線イメージセンサ

〇弓削 亮太^1,2、田中 朋^1,2、佐野 雅彦¹、殿内 規之^1,2、渋谷 明信^1,2、澁谷 泰蔵^1,2、小坂 眞由美^1,2、野口 将高^1,2、宮崎 孝^1,2、宮本 俊江^2,1、小田 直樹¹ (1.NEC、2.AIST)

キーワード：

カーボンナノチューブ、ボロメータ、赤外線イメージセンサ

単層カーボンナノチューブ（CNT）は、金属型と半導体型が混在して生成するため、半導体型特性を利用するには分離する必要がある。我々は、独自技術により半導体型CNTを高純度に分離することに成功し、それを利用したセンシングデバイスの研究開発を行っている。本講演では、半導体型CNTを赤外線検知部に使用し、MEMS素子技術により640×480素子にアレイ化した高感度な赤外線イメージセンサについて紹介する。