[17p-A37-7~11] 16.2 Energy Harvesting

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[17p-A37-11] A Study on Electrical Characteristics of Self-Assembled Electrets for SOI- MEMS Vibrational Energy Harvesters

〇Yuichiro Sunagawa¹, Kyoichi Kakuno¹, Satoru Hosoi¹, Ruichen Li¹, Yuya Tanaka², Daisuke Yamane¹ (1.Ritsumeikan Univ., 2.Gunma Univ)

Keywords:

Vibrational Energy Harvester,Self-Assembled Electret,SOI

当研究グループは、荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット（SAE: Self-Assembled Electret）を用いてMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）環境振動発電素子（VEH: Vibrational Energy Harvester）を実現した。本研究では、SOIウェハに形成した中空構造内部に成膜したSAEについて、解析モデルを検討した。