[17p-A37-7~11] 16.2 エナジーハーベスティング

16:30 〜 16:45

[17p-A37-11] SOI-MEMS環境振動発電素子に向けた自己組織化エレクトレットの電気的特性に関する検討

〇砂川 優一朗¹、角野 響一¹、細井 覚¹、李 睿宸¹、田中 有弥²、山根 大輔¹ (1.立命館大、2.群馬大)

キーワード：

MEMS振動発電素子、自己組織化エレクトレット、SOI

当研究グループは、荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット（SAE: Self-Assembled Electret）を用いてMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）環境振動発電素子（VEH: Vibrational Energy Harvester）を実現した。本研究では、SOIウェハに形成した中空構造内部に成膜したSAEについて、解析モデルを検討した。