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[17p-C31-13]Basic Discussion for CMOS-Graphene Integrated Molecular Sensor

〇Shuei Iwasaki1, Yasufumi Yokoshiki2, Takeshi Watanabe2, Shinji Koh2, Takashi Tokuda1 (1.Tokyo Tech, 2.Aoyama Gakuin Univ.)
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Keywords:

graphene,CMOS,molecular sensor

グラフェンは外部環境や吸着分子に対して鋭敏な特性変化を示すことなどから高性能なセンサ材料としての応用が期待されている。我々はグラフェンをCMOSチップ上に集積したCMOS-グラフェン融合センサの実現によって、グラフェンセンサをさらに高機能化することを目指している。今回、そのようなデバイスの実現に向けて、グラフェンとCMOSチップの接続性の評価及び読み出し回路の設計を行ったので報告する。

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