[17p-C31-1~20] 12.7 医用工学・バイオチップ

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[17p-C31-13] CMOS-グラフェン集積による高機能分子センサの検討

〇岩崎 秀栄¹、横式 康史²、渡辺 剛志²、黄 晋二²、德田 崇¹ (1.東工大、2.青山学院大)

キーワード：

グラフェン、CMOS、分子センサ

グラフェンは外部環境や吸着分子に対して鋭敏な特性変化を示すことなどから高性能なセンサ材料としての応用が期待されている。我々はグラフェンをCMOSチップ上に集積したCMOS-グラフェン融合センサの実現によって、グラフェンセンサをさらに高機能化することを目指している。今回、そのようなデバイスの実現に向けて、グラフェンとCMOSチップの接続性の評価及び読み出し回路の設計を行ったので報告する。