[17p-C43-1~17] 1.6 Ultrasonics

3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[17p-C43-11] BAW characteristics of two-layer polarization inverted films consisting of ScAlN and SiAlN layers

〇(M2)Kei Hukunaga¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of yamanashi)

Keywords:

Bulk acoustic wave resonator,ScAlN film,Polarization inverted film

本研究では分極反転BAW共振子の高性能化を目的として，大きな圧電性と電気機械結合係数をもつScAlN薄膜を用いた2層分極反転SiAlN/ScAlN薄膜をTi電極/石英ガラス上に形成した．その基板付きBAW共振子の変換損失測定結果から2次モード共振の達成と理論曲線との傾向の一致を確認し，ScAlN薄膜とSiAlN薄膜の積層により2層分極反転構造が形成できることを示した．