[17p-C43-1~17] 1.6 超音波

15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[17p-C43-11] ScAlNとSiAlNの積層による2層分極反転薄膜の形成とBAW特性評価

〇(M2)福永 慶¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大学)

キーワード：

バルク波共振子、ScAlN薄膜、分極反転薄膜

本研究では分極反転BAW共振子の高性能化を目的として，大きな圧電性と電気機械結合係数をもつScAlN薄膜を用いた2層分極反転SiAlN/ScAlN薄膜をTi電極/石英ガラス上に形成した．その基板付きBAW共振子の変換損失測定結果から2次モード共振の達成と理論曲線との傾向の一致を確認し，ScAlN薄膜とSiAlN薄膜の積層により2層分極反転構造が形成できることを示した．