[17p-P01-1~16] 6.4 Thin films and New materials

[17p-P01-15] Flexible 50Ba(Zr_0.2, Ti_0.8)O₃-50(Ba_0.7, Ca_0.3)TiO₃ Epitaxial Thin Films for the Fabrication of Wearable Ultrasonic Devices

〇Naoki Nishikawa¹, Sharad Mane², Hidekazu Tanaka², Hiroaki Nishikawa³ (1.Grad. Sch. B.O.S.T., Kindai Univ., 2.ISIR, Osaka Univ., 3.B.O.S.T., Kindai Univ.)

Keywords:

(1-x)Ba(Zr0.2,Ti0.8)O3-x(Ba0.7,Ca0.3)TiO3,Transfer process,Lead-free piezoelectric materials

Pb(Zr, Ti)O₃の代替となる鉛フリー圧電材料として(1-x)Ba(Zr_0.2, Ti_0.8)O₃-x(Ba_0.7, Ca_0.3)TiO₃ ((1-x)BZT-xBCT)が報告されており、50BZT-50BCTでPZTに匹敵する優れた圧電性を示す。本研究では、そのフレキシブルな50BZT-50BCTエピタキシャル薄膜の作製プロセス確立の試みについて報告する。