[17p-P01-1~16] 6.4 薄膜新材料

[17p-P01-15] ウェアラブル超音波デバイスの作製に向けた50Ba(Zr_0.2, Ti_0.8)O₃-50(Ba_0.7, Ca_0.3)TiO₃エピタキシャル薄膜のフレキシブル化

〇西川 直希¹、Sharad Mane²、田中 秀和²、西川 博昭³ (1.近畿大院生物理工、2.阪大産研、3.近畿大生物理工)

キーワード：

(1-x)Ba(Zr0.2、Ti0.8)O3-x(Ba0.7、Ca0.3)TiO3、転写プロセス、鉛フリー圧電材料

Pb(Zr, Ti)O₃の代替となる鉛フリー圧電材料として(1-x)Ba(Zr_0.2, Ti_0.8)O₃-x(Ba_0.7, Ca_0.3)TiO₃ ((1-x)BZT-xBCT)が報告されており、50BZT-50BCTでPZTに匹敵する優れた圧電性を示す。本研究では、そのフレキシブルな50BZT-50BCTエピタキシャル薄膜の作製プロセス確立の試みについて報告する。