[17p-P01-1~16] 6.4 Thin films and New materials

[17p-P01-16] Transfer Method of ZnO Heteroepitaxial Thin Films Deposited on Sr₃Al₂O₆ (111)

〇Yuuya Oda¹, Hattori Azusa², Tanaka Hidekazu², Nishikawa Hiroaki³ (1.Grad. Sch., B.O.S.T., Kindai Univ., 2.ISIR, Osaka Univ., 3.B.O.S.T., Kindai Univ.)

Keywords:

ZnO,Sr3Al2O6,transfer process

純水に溶解する特徴を持つSr₃Al₂O₆を用いて機能性材料を別の基板に転写する研究は盛んに行われている。その機能性材料の多くがSr₃Al₂O₆と結晶構造・格子整合が良いペロブスカイト材料である。それに対し、我々は六方晶機能性材料の転写プロセスを提案し、そのプロセスの中で重要なZnOを結晶構造の異なるSr₃Al₂O₆上にエピタキシャル成長させる試みについて報告する。