[17p-P01-1~16] 6.4 薄膜新材料

[17p-P01-16] Sr₃Al₂O₆ (111)上に堆積したZnOヘテロエピタキシャル薄膜の転写手法

〇小田 裕也¹、服部 梓²、田中 秀和²、西川 博昭³ (1.近畿大院生物理工、2.阪大産研、3.近畿大生物理工)

キーワード：

ZnO、Sr3Al2O6、転写プロセス

純水に溶解する特徴を持つSr₃Al₂O₆を用いて機能性材料を別の基板に転写する研究は盛んに行われている。その機能性材料の多くがSr₃Al₂O₆と結晶構造・格子整合が良いペロブスカイト材料である。それに対し、我々は六方晶機能性材料の転写プロセスを提案し、そのプロセスの中で重要なZnOを結晶構造の異なるSr₃Al₂O₆上にエピタキシャル成長させる試みについて報告する。